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    XDW282-全自动晶圆临时解键合机
    
            
    
            
    
                
    

    


    
4”-8”晶圆适用
    可处理薄晶圆
    晶圆料篮装卸料
    自动已键合晶圆对准
    热拆解键合晶圆
    键合胶膜机械手自动撕除
    自动晶圆切割膜贴覆
    晶圆智能料篮内测绘
    可选嵌入式LED紫外线照射?？?br />工控机+Windows系统
    SECS/GEM 或简易联网能力    		

    
    

    
            
    
            
        
    


    
    

    





    
    
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